带你了解财盈射频电源校准系统（Dummy Load）

射频电源校准系统包含射频负载、功率传感器、功率计。

射频负载（Dummy Load）是一种用于模拟电路或系统负载的设备，通常用于半导体生产中等离子体应用的RF功率调节控制和性能测试。

使被测试设备在无实际负载情况下仍能正常工作，让射频功率安全消散，并模拟负载状态下的电压、电流、功率等参数。

射频传感器 (RF Sensor)用于准确测量功率参数，以标准阻抗(50Ω)的低插损通过式功率传感器串联进入系统。

宽频段(标定范围内3%读数误差）

4024(1.5~32MHz/3~10000W)

窄频段(标定范围内1%读数误差）

4027系列（小功率）

4027A2M (1.5~2.5MHz/ 3~10000W)

4027A10M (10~15MHz/ 3~10000W)

4027A25M (25~30MHz/ 3~9000W)

4027A35M (35~45MHz/ 3~7500W)

4027A60M (45~65MHz/ 3~6000W)

4028系列（大功率）

4028B10M (10~15MHz/ 1000~25000W)

4028C10M (10~15MHz/ 500~50000W)

功率计(Power Meter)是一种应用于半导体领域的高精度测量功率计，配合传感器使用能够直观读取高达1%误差等级的功率参数，以便实时监控射频传输状况。

4421A是原4421的升级替换型号,在原产品的基础上增强了准确性及便携性,部分型号支持双通道测量。

量测频率范围：100K~1GHz

量测功率范围：100m~50KW

频率：DC-600MHz

额定功率：5KW连续功率

环境温度：-40℃至45℃

冷却方式：油冷

连接器：LF70转16/7接头

体积：712(长) x220(宽) x921(高) mm

频率：DC–1GHz

额定功率：10KW连续功率

环境温度：-40℃至45℃

冷却方式：油冷

连接器：LF70转7/16接头

体积：712(长) x220(宽) x921(高) mm

校准系统由射频电缆 (RF Cable)相互连接，须注意不同电缆的耐压范围，必须使用阻抗值为50Ω的电缆。不可任意更改电缆长度，否则会导致功率损耗。

射频电缆结构图

射频连接器接头按照使用环境和工作频率分为N、F、HN、7/16等类型。

客户B在我司采购的射频电源测试平台配置

1、产品良率提高—提升腔体射频功率一致性

因每台射频电源输出功率线性略有差异，加上同轴电缆损耗也有些许差异，使用射频电源系统校准系统，将可射频电源输出及同轴电缆差异校准为一致，确保客户设备射频功率输入腔体一致性。

2、产品产能提高—预防宕机停产

使用射频电源校准系统校准射频电源时，可检测出射频电源相关参数（输出功率、电流等），确认射频电源的状态，当参数与之前量测数据差异过大时，可即时送修减少因射频电源损坏导致客户机台宕机造成生产损失。

3、故障问题点排查—问题响应迅速

当故障点无法确定时，使用射频电源校准系统，可排查出射频电源、匹配器、腔体或同轴电缆导致问题，缩短客户排查时间。

4、备机替换—有备无患

备用射频电源校准系统可在设备故障维修或日常维护时替代使用，是连续生产、稳定生产的重要保障。

1、使用校准仪器对测试设备进行校准来确保准确性和可靠性。如果使用频谱仪等分析器进行测试，则需要对分析器进行频率校准和水平校准。

2、将 Dummy load 接入测试设备的输出端，并确认 Dummy load 的输出口连接正确。如果连接异常，则可能会导致误测或损坏测试设备。

3、使用功率计等测试仪器进行测量，并记录测试结果。在测量过程中，还需要注意测试设备的工作电流和电压等参数。

4、根据测试要求，可以使用负载测试仪器对特定参数进行测量，如伏安表等