新品推出！财盈ARES_1008L远程等离子体源介绍

      通过将气体输送到装置中，利用电场或者磁场在真空环境下反应产生等离子体，然后将等离子体传输到需要处理的表面区域，用于周期性清洁、薄膜和涂层沉积的主处理室。

      Ares_1008L设备由三相208VAC, 50～60Hz电源驱动，兼容输入电源连接的任意相位旋转。采用水冷和风冷设计，以确保可靠和稳定的操作。中频驱动铁氧体等离子体源。电源通过固态匹配装置直接耦合到等离子体腔的主绕组上。绕组中的电流在铁氧体磁心和等离子体腔内部分别诱导出受限的磁通量和感应等离子体。腔体表面 (材料) 与多种气体和化学物质兼容。

模拟端口引脚图如下：

• 环境温度：0°C - 40°C

• 湿度：<90% 无冷凝

• 通风：确保有良好的空气流通

• 将设备放置在平稳的工作台上

• 连接电源线至规范电源插座，确保电源电压符合设备要求

• 根据设备说明书连接气体管路，确保无泄漏

• 利用配件固定装置将设备固定在合适位置

                                                  开机显示图

                                                    状态显示图