Ares_1008L是一种基于铁氧体磁芯的等离子体源，配备可变频率电源。Ares_1008L的工作原理是通过将气体输送到装置中，利用电场或者磁场在真空环境下反应产生等离子体，然后将等离子体传输到需要处理的表面区域，用于周期性清洁、薄膜和涂层沉积的主处理室。其主要特点有：
1、高功率稳定输出：提供稳定的等离子体源，确保处理效果一致
2、远程控制：支持远程操作和监控，可通过软件实时查看运行参数
3、多种气体兼容性：能够处理多种气体，适应不同工艺需求
4、紧凑设计：设备结构紧凑，便于现场安装和维护
5、安全保护功能：内置多种安全保护机制，确保设备和操作人员安全