在半导体生产中，射频能量直接决定了反应室中等离子体的特性。在半导体生产工艺中，任何环节的可靠性都影响了最终良率。如在wafer生产的20日周期内，如若任何环节出现的微小偏差，最终可能会造成晶格损伤等严重问题，造成大批坏片。作为产业链其中的环节之一，维持射频电源的稳定输出是不可或缺的。在蚀刻、镀膜等工艺中对射频电源的应用非常广泛，射频上可能出现的问题直接制约了生产工艺及效率。在新进设备装机验证及日常运行阶段，需要定期使用RF Dummy Load校准系统对射频电源进行验证输出一致性并加以校正；当机台设备出现故障时，需要使用 RF Dummy Load校准系统进行故障排查检测。